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近日传来喜讯，苏州市工业和信息化局对2022年苏锡常首台（套）重大装备拟认定名单进行公示，江苏芯梦半导体设备有限公司的ENEPIG全自动化学镀镍钯金系统设备成功入围！

江苏芯梦半导体设备有限公司

榜上有名，成功入选

2022年苏锡常首台（套）重大装备

拟认定名单

什么是首台（套）？

为加快推进苏锡常一体化发展，鼓励和引导装备企业开展技术创新，建设自主可控的先进制造业体系，根据《常州市工信局、苏州市工信局无锡市工信局关于印发＜苏锡常首台（套）重大装备认定管理办法＞的通知》（常工信规【2021】1号）和《常州市工信局 苏州市工信局 无锡市工信局关于组织开展2021年苏锡常首台（套）重大装备认定工作的通知》（常工信装备【2021】308号）等文件要求，经企业自主申报、地区推荐、形式审查、材料评审、现场核查、网上公示等程序，今年苏州地区共有30个装备入围。

“首台套”是指具备自主知识产权的高端装备，经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，需要满足产品自主可控程度高、掌握装备生产的核心技术和关键工艺、在设计与制造技术等方面具有标志性突破或根本性改进、核心技术及关键部件安全可控等基本条件。“苏锡常”首台（套）重大装备是为全面贯彻落实省委省政府关于苏锡常都市圈建设和一体化发展的决策部署，常州携手苏州、无锡开展“苏锡常”首台（套）重大装备的一体化创新应用工作。

本次入选是政府对江苏芯梦在半导体湿法装备领域，特别是ENEPIG全自动化学镀镍钯金系统设备领域的研发实力、人才队伍、售后服务的认可，江苏芯梦将继续在半导体高端湿法工艺装备领域不断开拓创新，在微纳领域用先进技术护家强国。

ENEPIG全自动化学镀镍钯金系统设备主要用于晶圆级封装WLP、IGBT/MOSFET晶圆制造等领域，江苏芯梦基于自主知识产权的独特设计，开发出了具有高沉积速率、高均匀性，低综合能耗和成本的ENEPIG全自动化学镀镍钯金系统设备，能够实现多Robot的互动，精密控制制程过程中的流量、温度、循环、PH等参数。

相较于传统的金属沉积方式，ENEPIG化学镀镍钯金不需要掩模版，不需要复杂的工艺流程，方式更加简单灵活，能够适用于不同的PAD材质，包括：

Cu/Al/AlSi/AlSiCu/Pt/Au/Ag/GaN/Ge/GaAs 等。除了常规的方形设计，芯梦半导体还针对半导体行业场地紧张的特点，开发出了L型、U型等特殊设计，满足客户的不同场景，更可基于客户实际需求，进行深度定制。

目前该系列产品已导入包括中芯和华虹在内的主流FAB，实现了我国在高端半导体制造行业全自动晶圆级ENEPIG化学镀设备的国产替代。

江苏芯梦致力于提供集成电路制造、先进封装及衬底制造领域高端湿法制程工艺装备综合解决方案，主要产品包括全自动晶圆级ENEPIG化学镀设备、全自动单片清洗设备、全自动FOUP清洗设备、高深宽比TSV微盲孔填充设备等。公司成立3年来快速发展，获得40余项专利权，先后获得国家高新技术企业、江苏省高新区潜在独角兽企业、苏州市瞪羚计划入库企业等认定。