又一突破!江苏芯梦成功交付国内最新一代Lapping Cleaner
近日,江苏芯梦半导体设备有限公司自主研发的最新一代Lapping Cleaner清洗机已实现批量交付,这标志着公司在半导体设备制造领域又向前迈出了坚实的一步!

设备亮点
n综合优势:本设备融合了槽式多片高效清洗与水平单片精刷技术,实现了清洗效率与洁净度的双重提升,为行业树立了新的标杆。
n智能设计:该设备可无缝对接机器人自动上料及OHT自动下料系统,显著降低了对人力资源的依赖。同时,关键生产环节的各工艺参数均能实现实时智能采集与云端上传,确保硅片的品质稳定且卓越。
n环保节能:通过精心设计的工艺流程,我们有效延长了药液的使用寿命,为企业节省运营成本的同时,也积极响应了环保号召。
核心流程简述
主要流程涵盖了预清洗、深度清洁、精细刷洗等多个关键环节,其中应用了包括多片喷淋、超声、单片刷洗、高压干燥等前沿技术,实现了对硅片的高效、彻底清洁,并确保了产品的品质。在下料阶段,利用机器人精准操作,将清洗完成的硅片插入FOUP,并实现与OHT的无缝对接,实现了自动化生产。
作为国内半导体行业的助跑者,江苏芯梦正以实际行动践行着对技术创新的承诺。面向未来,我们还将持续加大研发投入,深化技术革新,为中国乃至全球半导体产业的蓬勃发展贡献更多力量!