半自动晶圆盒清洗机
Xtrim-FC-M300
设备概述
五大系统：纯水加热+高压喷淋+高速离心甩水+CDA/N2吹扫+热风/红外干燥、清洗腔4/6工位挂架（定制化）
设备亮点
清洗速度快
清洗效率高，30-60分钟完成1次清洗工艺，快速实现干进干出。
兼容性强
4~12寸全尺寸兼容。
FOUP、晶圆盒、FOSB、光罩盒、Cassette、Box等均可清洗。
工艺性能优异
Particle管控效果卓越。
热风干燥/红外干燥。
安全生产
DBPS动平衡保护。
防呆保护系统。
高温连锁控制防护。