全自动晶圆盒清洗机
Xtrim-FC-A300
设备概述
Loadport*3 Clean Chamber*3 Vacuum Chamber*3 Robot
设备亮点
全流程自动化
自动开盖合盖、晶圆检测、清洗、干燥、抽真空、除湿全自动作业，可与天车系统无缝对接。
兼容性强
无需任何硬件修改即可兼容多种类型的FOUP/FOSB。
工艺性能优异
Particle、AMC（含VOC）、Outgassing控制。
N2 Purge 控制FOUP内部湿度。
产能高
每小时可清洗25至30个产品