江苏芯梦半导体设备有限公司

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全自动晶圆盒清洗机

Xtrim-FC-A300

设备概述

Loadport*3 Clean Chamber*3 Vacuum Chamber*3 Robot

设备亮点

全流程自动化

  • 自动开盖合盖、晶圆检测、清洗、干燥、抽真空、除湿全自动作业,可与天车系统无缝对接。

兼容性强

  • 无需任何硬件修改即可兼容多种类型的FOUP/FOSB。

工艺性能优异

  • Particle、AMC(含VOC)、Outgassing控制。

  • N2 Purge 控制FOUP内部湿度。

产能高

  • 每小时可清洗25至30个产品

SEMI S2 F47认证