ENEPIG（镍钯金）化学镀设备
Xtrim-ENEPIG-300/200/150
设备概述
Load/Unload、Pretreatment Unit、Ni/Pd/Au Dual Tank Unit、IPA Dryer/Marangoni Dryer、Auto CDS&PM Unit、Online Analyzer
设备亮点
定制化
多元化工艺匹配，支持超20种化学药水的应用。
直线型/L 型布局可选。
Turn-Key
与ATO Tech/NOVA深度合作，提供“设备+药水+分析”全流程解决方案。
均匀性佳
自主研发立体式抛动+独特的均流管设计，镀层均匀性≤5%。
高产能
支持双CST设计，产能最大化。
多套机械协同作业，产品无等待。
双镍钯金槽，PM时无产能损失。
全自动
支持OHT/AGV对接，全自动上下料。
全自动配液，全自动PM。
全自动分析及药水添加。
行业认证
SEMI S2
CE