全自动去胶设备
Xtrim-SC-ST300
设备概述
Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow
设备亮点
功能完备
Nano-Spray、Mega-Sonic、加热、N2鼓泡、常压/高压DIW等基本配置可选。
可根据客户需要搭配对应的药水，如NMP/NaOH/ IPA等。
定制化
支持6&8&12 Inch Wafer。
可根据客户需求进行定制化搭配。
节约药液
配置专业药液循环利用、自动补液、药液控温及排风、排废系统；
支持by片数/时间切换recipe，充分延长药水使用寿命。
污染控制
专业材质选用：实现对Particle的高效管控；
封闭式的晶圆加工环境，有效防止化学液雾化及微粒污染。