全自动4腔金属刻蚀机
Xtrim-SC-ET300
设备概述
Loadport*2、Multi Chambers、Robot、CDU
设备亮点
定制化设计
可支持6”&8”&12”inch Wafer。
可根据客户需求进行定制化搭配。
节约药液
支持药液回收。
支持多种药液。
支持by片数/时间切换recipe，充分延长药水使用寿命。
污染控制
专业材质选用：实现对Particle的高效管控。
智能化的救货系统
软件：配置救货机制，异常状态下避免晶圆过度刻蚀。
救货喷嘴。