全自动单片清洗设备
Xtrim-SC-CL300
设备概述
Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow
设备亮点
功能完备
Nano-Spray、Brush Clean、Mega-Sonic、DIW、N2等基本配置可选。
可根据客户需要搭配应对的药水，如O3/DHF/SC1。
节约药液
支持药液回收。
支持多种药液。
支持by片数/时间切换recipe，充分延长药水使用寿命。
标准化模块组成
设备由标准化模块构成，组装高效。
内部空间紧凑，节省空间。
自动化生产
Robot自动上下片，Mapping。
可连续自动化工艺处理。