全自动背面腐蚀设备
Xtrim-SC-BC300
Xtrim-SC-BE300
设备概述
Loadport*2、Chamber*2、Bernoulli Robot、Bernoulli Chuck
设备亮点
定制化设计
支持6”&8”&12”inch Wafer。
支持THK：100-775um。
支持Taiko片、Glass片等。
自动化生产
Robot自动上下片。
支持自动混液和供液。
非接触式传输与刻蚀
设备采用伯努利机械手，实现非接触晶圆传输。
采用伯努利Chuck能够很好的保护Wafer正面，防止反溅腐蚀。