抛光液供液系统
Xplaim-ST-SDS
设备概述
主要应用于半导体湿法行业各种抛光液Slurry的供应
设备亮点
机型种类多
厂务中央供液CDS和设备端Local CDS，可以供原液，也可以增加稀释混液系统。
适用于DSP、EP、FP等各种抛光机。
专业性设计
针对抛光液Slurry特性使用行业验证的针对性关键配件，比如磁悬浮泵、连续液位计、控温系统等。
可靠性强
多种数字仪表，电导率、PH计、温度、压力、流量、空桶检测等检测系统工况。
自动化程度高
自动配液、自补液，可选抛光后回收或直排。与厂务MES通讯上传工艺参数。