江苏芯梦半导体设备有限公司

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部件清洗机

Xplaim-ST-PTC

设备概述

主要应用于半导体各种工艺设备的零部件清洗,有石英部件、不锈钢部件、塑料部件、硅部件、籽晶、陶瓷部件、游行轮、CUP等等。根据不同部件,不同脏污采用不同尺寸、材质的槽体,不同的药水进行清洗;根据自动化需求,选配机械手臂、花篮等,属于非标设备

设备亮点

适用性强

  • 适用于各种类型部件。

多种药液适用

  • 根据不同药液选择适应的材质,满足不同清洗需求。

定制化

  • 根据清洗工艺需求,配置超声、循环、过滤、鼓泡、加热等功能。

自动化

  • 可根据产品与清洗工艺选配带机械手臂自动在各槽之间转运清洗。