全自动槽式湿法设备-Cassette Less
Xtrim-BC-L200
设备概述
Load/Unload、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4......),QDR、MarangoniDryer , Robot、Transfer......Support Tool: CDS /LCDS
设备亮点
定制化设计
定制化设计：支持6、8SMIF
适配各类药水
工艺槽体可根据需求定制
产能高
支持25片/50片量产
按工艺段多套Robot协同作业
精准控制
精密温控系统
动态计量添加
多点式兆声波
环保与可持续性
药液过滤循环利用
分路排液回收
耐腐材料选择，减少老化
智能化的救货系统
过浸泡救货功能
异常断电救货功能