全自动卧式炉管清洗机
Xplaim-ST-HTC
设备概述
主要应用于氧化、扩散、剥膜生长、退火、外延等等工艺的炉管清洗
设备亮点
适用性腔
适用于6”到12”炉管，也适用于清洗其他小型部件
清洗均匀性好
滚动浸泡清洗均匀性好
自动化强
带机械手臂自动在各槽之间转运清洗。
定制化
可根据客户要求定制化设计（槽体数量、药液供液功能定制、药液回收Tank等）
适用于6”到12”炉管，也适用于清洗其他小型部件
滚动浸泡清洗均匀性好
带机械手臂自动在各槽之间转运清洗。
可根据客户要求定制化设计（槽体数量、药液供液功能定制、药液回收Tank等）