江苏芯梦半导体设备有限公司

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全自动卧式炉管清洗机

Xplaim-ST-HTC

设备概述

主要应用于氧化、扩散、剥膜生长、退火、外延等等工艺的炉管清洗

设备亮点

适用性腔

  • 适用于6”到12”炉管,也适用于清洗其他小型部件

清洗均匀性好

  • 滚动浸泡清洗均匀性好


自动化强

  • 带机械手臂自动在各槽之间转运清洗。


定制化

  • 可根据客户要求定制化设计(槽体数量、药液供液功能定制、药液回收Tank等)