全自动槽式湿法设备-Cassette Type
Xtrim-BC-A300
Xtrim-BC-A200
Xtrim-BC-A150
设备概述
Load/Unload、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4……）、QDR、Transfer……Support Tool: CDS /LCDS
设备亮点
定制化
适配各类药水
工艺槽体可根据需求定制
适用性强
适用于5"、6"、8"、12"晶圆
覆盖衬底制造、集成电路及先进封装等领域
高效灵活
支持Open Cassette、SMIF、FOUP上下料
模块化设计满足多样化工艺需求，提升生产效率与灵活性
产能高
支持25片/50片量产，高产能；
按工艺段多套机器人协同作业；
智能化的救货系统
过浸泡救货系统
异常断电救货功能