全自动槽式湿法设备-Cassette Less
Xtrim-BC-L300
设备概述
EFEM、Chemical Baths(SPM、HF、SC1、SC2、BOE、H3PO4……）、QDR、Marangoni Dryer ， Robot、Transfer……Support Tool: CDS /LCDS
设备亮点
定制化
12”FOUP LP
适配各类药水
工艺槽体可根据需求定制
精准控制
专业流场、温控设计
精准配液；依工艺选择流量计/计量泵/计量桶/浓度计
精确补液：by片数/时间/浓度
高端配置
配置加热、循环、兆声清洗及浓度在线监控等技术，增强晶圆清洗效果；
配置Marangoni Dryer确保晶圆干燥，安全生产；
破片侦测
Particle 管控优异
CST-Less方式；
专业的材质选用；
气体流畅管控系统
先进的干燥系统
智能化的救货系统
过浸泡救货系统
异常断电救货功能